通常，高純氣體系指氣體中含較少雜質氣氛（純度），微量水份（干燥度）污染物粒子的婁量保持在最低限度，其粒度也應是最小的（潔凈度）。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈是三項重要的標度。 特別是近10年來，隨著更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產，對高純氣體潔凈度的要求，其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴格要求的用氣工藝，無一不對其中的粒子提出限制。