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    常用電子混合氣體

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    2008-9-9 10:05:00 [點擊下載：20089910535984.pdf]

    電子混合氣體廣泛用于大規模集成電路（L.S.I）超大規模集成電路（V.L.S.I）和半導體器件生產中，主要用于氣相外延（生成）、化學氣相淀積、摻雜（雜質 擴散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。
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