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廣州市譜源氣體有限公司
H2_電子工業用氣體 氫國家標準GB_T 16942-2009
2019-6-6 9:13:54
本標準規定了電子工業用氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以氫氣為原料經凈化抽取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業用氫氣。它們主要被 用來提供還原氣，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。
氫氣技術指標
試驗方法
1 抽樣、判定和復驗
1. 1 瓶裝、集裝格裝氫產品應逐一檢驗并驗收。當驗收結果有任何一項不符合本標準技術要求時，則判為不合格。
1.2 對穩定生產的管道輸送的氣由供需雙方確定抽樣頻數。企業應確保管道輸送的氫產品符合本標準技術要求。
1.3 氫采樣安全應符合GB/T 3723的規定。
氫氣在出廠時應附有質量合格證，其內容至少應包括：
產品名稱，生產廠名稱，危險化學品生產許可證編號
生產日期或批號，成品壓力，產品技術指標
本標標準號及產品等級，檢驗員號
