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一、范圍

本標準規定了氨的技術要求，試驗方法，檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。

本標準適用于半導體工業，氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。

分子式： NH3

二、技術要求

1、氨電子級產品的質量應符合表1的要求。

2、氨光電子級產品應符合表2的要求，重金屬含量應符合表3的規定。

三、氨氣安全要求

1、氨的生產、使用以及貯運應符合《氣瓶安全監察規程》（2000年）、《壓力容器安全監察規程》（1999年）等相關規定。

2、氨無色，有刺激臭味，能傷害人的眼睛和呼吸器官，在使用時應注意防護，防止人身與氨接觸，以免燒傷。

3、氨的生產、使用應有適當的尾氣處理的措施，以防止氨對環境的污染。

4、由于氨易溶于水，應使用捕液器或止回閥防止倒吸，如發生倒吸，鋼瓶內可能爆發猛烈反應，除此之外，還有可能對鋼瓶造成嚴重腐蝕。任何意外的倒吸都應及時報告供應商。

5、氨可燃、易爆，它與空氣或氧氣混合有發生爆炸的危險。對于干燥的氨-空氣混合物，爆炸范圍約這含氨16%-25%。在下列三種情況下，爆炸范圍將擴大：混入其他可燃氣體，如氫；用氧代替空氣；溫度升高，壓力高于大氣壓力。

6、在使用氨的環境中不能有明火。

7、氨氣瓶應貯存在不易起火的地方；運輸及搬運時避免受沖擊、跌落和陽光照射。