氣體知識

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一、范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮，以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們在超大規(guī)模集成電路制造中用作保護(hù)、吹掃、覆蓋、加壓，化學(xué)氣相淀積等。

分子式：N₂

二、氮技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氮的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求

三、標(biāo)志、包裝及貯運(yùn)

1、包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子氮”字樣。

2、瓶裝氮?dú)鈮毫?yīng)大于氣瓶公稱工作壓力的90%，用于測量的壓力表精度不低于2.5級。氮?dú)庠?0℃101.3KPa狀態(tài)下的體積按GB/T3864R FWPG.

3、返廠氮?dú)怃撈康挠鄩翰粦?yīng)低于0.2MPa。余壓不符合要求的氣瓶，水壓試驗(yàn)后的氣瓶以及新氣瓶等在充裝前應(yīng)按規(guī)定要求進(jìn)行加熱、抽空和置換。

4、氮出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱、危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號

生產(chǎn)日期或批號、成品壓力或質(zhì)量、產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

本標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)號及產(chǎn)品等徐若、檢驗(yàn)員號

5、氮?dú)獗瓤諝庵?，可能累積在低層空間，造成缺氧?？諝庵懈邼舛鹊斐扇毖?，有神志不清或死亡危險(xiǎn)。進(jìn)入污染工作區(qū)域前，檢驗(yàn)氧含量。

6、容器漏損時(shí)，液氮迅速蒸發(fā)造成封閉空間空氣中過飽和，有窒息嚴(yán)重風(fēng)險(xiǎn)。

7、液氮可能引起凍傷。凍傷時(shí)用大量水沖洗，不要脫去衣物，給予醫(yī)療護(hù)理。

8、在氮有可能泄漏或氮含量有可能增加的地方應(yīng)設(shè)置通風(fēng)裝置。