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雖然六氟化硫在常溫常壓下化學性質穩定，是無毒氣體但是作為工業氣體和電力設備行業重用氣體，檢測其泄露也是很有必要的，為環境的保護和高壓電力輸送的高效提供保障，現在一般常用的六氟化硫氣體泄漏檢測主要采用了電化學技術、電擊穿技術和紅外光譜吸收技術。

1、電化學技術：電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。

2、電擊穿技術：電擊穿技術是從六氟化硫氣體在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。

其工作原理是根據六氟化硫氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有六氟化硫氣體。

3、紅外光譜吸收技術：紅外光譜吸收技術(又稱激光技術)的原理是西安六氟化硫作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。

目前采用第二種試驗方法較為準確，其實施程序是：抽真空檢驗→六氟化硫氣體→六氟化硫氣體泄漏檢驗。

具體過程為：在GIS經真空檢漏并靜止六氟化硫氣體5h后，用塑料薄膜在法蘭接口等處包扎，再過24h后進行檢測，如果有一處薄膜內六氟化硫氣體的濃度大于30ppm，則該氣室漏氣率不合格。

如果所有包扎薄膜內六氟化硫氣體的濃度均小于30ppm，則認為該氣室漏氣率合格。