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廣州市譜源氣體有限公司
電子氣體在高新技術中的應用
2012-2-14 15:23:42
進入20世紀90年代以后，隨著我國高新技術的快速發展，計算機工業對大規模集成電路、液晶顯示器的需求大量增加；隨著新型能源的發展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產；此外，新型電光源、光電半導體器件（GaAs、InP、AlGaAs）、光纖通訊器件也獲得迅猛發展，在上述高新產品的生產中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。
大規模集成電路
化學氣相沉淀：SiH4，NH3，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）
化學刻蝕：CF4，SF6，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl
化學摻雜：BF3，B2H6，PH3，AsH3
化學氣相沉淀：SiH4，NH3，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）
化學刻蝕：CF4，SF6，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl
化學摻雜：BF3，B2H6，PH3，AsH3
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