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二氟硅烷《氣體應(yīng)用大全》
2014-3-6 22:31:29
1.別名·英文名
二氟二氫硅；Difluorosilane．
2.用途
含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。
3.理化性質(zhì)
分子量： 68.10
熔點： -122.0℃
沸點(101.325kPa)： -77.8℃
氣體密度： 2.35kg/m3
熔化熱： 6.148kJ/kg
氣化熱： 292.092kJ/kg
臨界溫度： 34℃
蒸氣壓(-124.3℃)： 2.666kPa
(-98.3℃)： 26.664 kPa
(-87.8℃)： 53.329kPa
比熱容(氣體，25℃)： 749.443J/(kg·K)
二氟硅烷在常溫常壓下為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。長時間放置時緩慢分解，但比SiHF3分解速度慢。
2SiH2F2→SiH4+SiF4
在水或苛性蘇打的水溶液中水解產(chǎn)生氫氣。
與乙醇、氨和胺反應(yīng)。
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