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廣州市譜源氣體有限公司
六氟化硫《氣體應用大全》
2014-3-6 22:50:52
六氟化硫 SF6
1.別名·英文名
Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等的氣絕緣體，制冷劑，示蹤裝置，醫療，半導體制造中的蝕刻、化學相淀積、標準氣，檢漏氣體，色譜儀的載氣。
3.制法
在高溫下硫和氟反應制得。
S+3F2→SF6
4.理化特性
分子量： 146.054
熔點(224kPa)： -50.8℃
升化點(101.325kPa)： -63.7℃
液體密度(-50.8℃)： 1880kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：5.114
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg
臨界溫度： 45.5℃
臨界壓力： 3759kPa
臨界密度： 736kg/m3
壓縮系數：
|
溫度 |
壓縮系數 | |||
|
100kPa |
1000kPa |
2000kPa |
3000kPa | |
|
15 |
0.9886 |
0.8656 |
|
|
|
50 |
0.9926 |
0.9137 |
0.8113 |
0.6760 |
熔化熱(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg
氣化熱(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：CP=665.18J/(kg·K)
(液體，225K)： C=759.14J/(kg·K)
蒸氣壓(-20℃)： 680kpa。
(0℃)： 1250kPa
(30℃)： 2680kPa
粘度(101.325kPa，0℃)：0.0142mPa·S
(液體，229.85K)：0.500mPa·S
表面張力(-50℃)： 11.63mN/m
導熱系數(101.325kPa，0℃)：0.01206W/(m·K)
折射率(氣體，0℃，101.325kPa)： 1.000783
六氟化硫在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒。對熱穩定，化學性質不活潑。在500℃以上赤熱狀態下也不分解，在800℃以下很穩定。在250℃時與金屬鈉反應。沒有腐蝕性，可以用通用材料，不腐蝕玻璃。電絕緣性能和消弧性能好，絕緣性能為空氣的2～3倍，而且氣體壓力越大，絕緣性能越增高。藥物學性質不活潑，沒有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于鹽酸和氨。水中的溶解度為：5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分壓101.325kPa，25℃)。介電常數為：1002049(氣體，101.325kPa，25℃)。在21.1℃時S.P.為2308kPa。
5.毒性
最高容許濃度：10ppm(12mg/m3)
六氟化硫在生理學上是不活潑的，在藥理學上認為是惰性氣體。但是當含有SF4等雜質時便變成有毒物質。當吸入高濃度SF6時可出現呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜變藍、全身痙攣等窒息癥狀。
6.安全防護
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