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廣州市譜源氣體有限公司
三氟化磷《氣體應用大全》
2014-3-6 22:54:00
三氟化磷PF3
1.別名·英文名
氟化亞磷；Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
2.用途
發生氣體、氟化劑、外延、離子注入。
3.制法
(1)三氟化砷和三氯化磷作用。
(2)3F2(適量)+2P→2PF3
4.理化性質
分子量：87.969
熔點(101.325kPa)： -151.3℃
沸點(101.325kPa)： -101.2℃
液體密度(171.95K，S.P.)： 1574kg/m3
(0℃)： 1130kg/m3
氣體密度(25℃，101．325kPa)： 3.590kg/m℃
相對密度(氣體．空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.03
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -2.0℃
臨界壓力：4326kPa
臨界密度： 592kg/m3
氣化熱(171.95K)： 165.94kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=667.16J/(kg·K)
蒸氣壓(122.15K)： 1.333kPa
(165.15K)： 66.661kPa
(184.45K)： 199.983kPa
導熱系數(氣體，25℃，101.325kPa)：0.0164W/(m·K)
粘度(氣體，25℃，101.325kPa)：0.01871mPa·s
三氟化磷在常溫常壓下為無色無味有毒氣體。液態為無色透明。空氣中不太發煙，相當穩定。加熱時與氫反應生成PH3。能被水緩慢分解成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解。可溶于乙醇。除在高溫外，不腐蝕玻璃。
5.毒性·安全防護
小鼠--吸入LCLo:1900mg/m3·10分鐘
最高容許濃度：1ppm
三氟化磷是極毒物質。它水解生成的亞磷酸和氟化氫對皮膚、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用，其癥狀與五氟化磷及鹵化磷大致相同(參見氟化氫和五氟化磷)。
對干燥氣體可用鋼、鎳、蒙乃爾等。
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