高純氣體管道氦氣檢漏方法
1、高純大宗氣體管道氦檢漏常用方法采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
2、內向檢漏法（噴氦法）應采用在高純氣體管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法進行檢漏。
3、閥座檢漏法應采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏。
4、外向檢漏法（吸槍法）應采用在高純氣體管道內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點的方法檢漏。
5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1
6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應符合下列要求：
6. 1、內向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
6.2、閥座檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
6. 3、外向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s
7、氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新進行氣密性試驗并合格，然后應按規定再時行氦檢漏。
8、所有可能泄漏的點應用塑料袋隔離。
9、系統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并應進行吹掃。
10、測試完畢后，應提交測試報告。
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