高純氣體在國內發展速度日趨加快
2012-8-12 15:29:54
近幾年來，隨著我國超大規模平板顯示器、?集成電路、光伏發電等產業的迅速發展，高純級電子氣體市場的需求量明顯增加，電子特種氣體?的國產化已是大勢所趨。在不久前召開的全國特種氣體第十四次年會上了解到，我國在電子特種氣體國產化方面取得可喜進展：高純氣體中高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內市場??國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局。
高純氣體? 四氟化碳：“有價無貨”時代已經結束
金融危機暴發前，由于國內不具備四氟化碳規模化生產能力，有錢也買不到產品，市場經常出現“有價無貨”的現象。但隨著國產高純四氟化碳的入市，現在“有價無貨”時代已經結束。據介紹，目前國內市場每年需要高純四氟化碳約1000噸，純度達99.9995%的國產貨基本可滿足國內需求。
據了解，高純四氟化碳氣廣泛應用于硅材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。佛山科的公司專業生產高純四氟化碳、六氟化硫等多種高純級電子氣體。
高純氯化氫：成功打開國內市場
高純氯化氫主要用于單晶硅片的拋光和外延，是硬質合金的重要原材料。據了解目前我國每年需求高純氯化氫100噸左右，一半以上靠進口。金融危機暴發前，高純氯化氫國內市場一直被國外公司壟斷，國產品牌很難打進去。
高純氨：國內企業將成主力軍
高純氨作為電子工業中氮化膜的成膜氣體，是化學氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。2010年，國產高純氨在太陽能領域發揮了巨大的作用。由于國產高純氨進入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。
高純氣體電子氣體所涉及的不僅僅是一個產業化生產問題，也不單純是一個資金投入的問題，首先要解決的關鍵是技術，國產電子氣體一旦在市場上站穩，必將顯示出其巨大的生命力、強大的競爭力。高純氯化氫的國產化成功，無疑為其他電子氣體的發展提供了借鑒。?
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