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特種氣是什么，譜源氣體專業(yè)供特種氣

2015-11-3 15:15:57

特種氣也稱為稀有氣體。主要包括電子氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體兩大類(lèi)，它是集成電路制造和大型石油化工裝置正常運(yùn)行必不可少的重要材料。

電子氣體：如集成電路制造，IC生產(chǎn)線，硅片的加工等微電子原件的加工，需要品種繁多的高純，超高純（組成的最低濃度為10^-6）特種氣體，故人們常吧這種用于微電子技術(shù)的特種氣體成做電子氣體。

標(biāo)準(zhǔn)氣體：標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時(shí)高度均勻的，有良好的穩(wěn)定性和量值準(zhǔn)確的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。它們具有復(fù)現(xiàn)、保存和傳遞量值的基本作用，有物理，化學(xué)，生物與工程領(lǐng)域中用于校測(cè)量?jī)x器的過(guò)程，評(píng)價(jià)測(cè)量的準(zhǔn)確度和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力；確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進(jìn)行量質(zhì)仲裁。

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