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電子四氟化碳CF4氣體性質
2017-12-4 10:49:49
0
質量標準
:
分子式:CF
4
分子量:88
項目
含量
單位
CF4
≥99.999
%V
O2+Ar
≤1
ppmv
N
2
≤4
ppmv
CO
2
≤1
ppmv
CO
≤1
ppmv
SF
6
≤1
ppmv
Other Halocarbons
≤1
ppmv
H
2
O
≤1
ppmv
Acidity(HF)
≤0.1
ppmv
性狀:
四氟化碳為永久氣體,在常溫常壓下為無色無臭的氣體。空氣中不燃燒,是比較穩定的無毒物質。
用途:
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于電子器件表面清洗,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
貯存:
陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃,空瓶、滿瓶應分開存放。
運輸:
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關規定。
包裝:
應充裝在經特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
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