一、儀器
采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定三氟化氮中四氟化碳（允許采用熱導氣相色譜法）、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。當三氟化氮純度的體積分數不大于99.99%時，允許采用熱導氣相色譜儀測定三氟化氮中氮、氧（氬）、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。
儀器均應當配備氣路切割系統，用于切除樣品氣中絕大部分的三氟化氮。
二、測定條件
要求所采用的氣相色譜儀對色譜儀對三氟化氮中氮、氧（氧）、四氟化碳、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的檢測限分別不大于本標準所列相應雜質指標的1/2.
三、色譜柱
切割柱：長5.0m，內徑2mm，內裝粒度為0.18mm~0.25mm的PorapakQ有機多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h后備用，切割柱使用溫度為40℃。或采用其他等效色譜柱。
分析柱：長3.0m，內徑2m，內徑 內裝粒度為0.18mm~0.25mm的HayeSepDB的氣相色譜級多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h備用，分析柱柱溫約40℃。或采用其它等效色譜柱。
采用本標準推薦的切割柱和分析柱時，三氟化氮中的各種雜質組分的流出順序為：氫、氦、氧（氬）、四氟化碳、三氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮、六氟化硫。
四、氣體標準樣品
當所測定的試樣中三氟化氮純度的體積分數不大于99.99%時，所采用的氣體標準樣品為氮、氧（氬）、四氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮的含量應當與被測試樣中所對應的含量相近，氣體標準樣品的平衡氣為氦氣。